擴散硅壓力傳感器工作原理與其優(yōu)越性

擴散硅壓力傳感器被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷)，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸…一個對應(yīng)于這一壓力的標準測量信號。藍寶石壓力傳感器利用應(yīng)變電阻式丁作原理，采用硅一藍寶石作為半導(dǎo)體敏感元件，具有無與倫比的計量特性。

藍寶石系由單晶體絕緣體元素組成，不會發(fā)生滯后、疲勞和蠕變現(xiàn)象；藍寶石比硅更堅固，硬度更高，不怕形變；藍寶石有著非常好的彈性和絕緣特性，因此，利用硅．藍寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件，對溫度變化不敏感，即使在高溫條件下，也有著很好的工作特性；藍寶石的抗輻射特性極強；另外，硅．藍寶石半導(dǎo)體敏感元件，無p—n漂移，因此，從根本上簡化了制造工藝，提高了重復(fù)性，確保了高成品率。

擴散硅壓力傳感器,用硅．藍寶石半導(dǎo)體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器，可在最惡劣的工作條件下正常工作，并且可靠性高、精度好、溫度誤差極小、性價比高。

表壓壓力傳感器和變送器由雙膜片構(gòu)成：鈦合金測量膜片和鈦合金接收膜片。印刷有異質(zhì)外延性應(yīng)變靈敏電橋電路的藍寶石薄片，被焊接在鈦合金測量膜片上。被測壓力傳送到接收膜片上(接收膜片與測量膜片之間用拉桿堅固地連接在一起)。在壓力的作用下，鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變，該形變被硅一藍寶石敏感元件感知后，其電橋輸出會發(fā)生變化，變化的幅度與被測壓力成正比。

傳感器的電路能夠保證應(yīng)變電橋電路的供電，并將應(yīng)變電橋的失衡信號轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電信號輸出(4～20mA或0～5V)。在絕壓壓力傳感器和變送器中，藍寶石薄片與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起，起到了彈性元件的作用，將被測壓力轉(zhuǎn)換為應(yīng)變片形變，從而達到壓力測量的目的。